超纯水防静电装置
eFLOW
功能产品
eFLOW
功能产品
eFLOW Series是通过使用DIC自主开发的中空纤维透气膜补充二氧化碳的方法控制超纯水电阻率值的装置。可得到防止因静电引起的 灰尘再次附着和基板图形的防 静电破坏的效果。
※专利申请完毕
• 由于结构简单,故障少
• 采用独特的配管分配方式,易于控制电阻率值且稳定性优良
• 二氧化碳供气模组的寿命长(保证期限为5年,本公司制)
通过调整用二氧化碳溶解模组(参照右上图)生成的二氧化碳饱和水和超纯水的混合比率,可调节超纯水的电阻率值。
DIW在模组内的中空纤维膜内部流动。其间,从中空纤维膜外侧CO2溶入DIW内。溶解的二氧化碳在DIW内发生离子化,可使DIW具有导电性,消除静电。由于使用微细中空纤维膜束,可以有效获得二氧化碳溶解所需要的表面积。
eFLOW2, 3A*型装载有两个二氧化碳溶解模组。
※不保证流量变动时的电阻率值性能。
※上述各图表为参考数据。根据使用条件的不同,性能特性有所区别。
■ 清洁规格(流量~30L/min)
■ 低电阻率型
■ 小型·电气部分离型
■ 大流量(100 L/min)型
■ 其他 可定制
• 掩模、网袋的清洗• 洗涤器清洗• 高压喷射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗